基材外周处理方法及装置

摘要

本发明在除去基材外周部不需要之膜之处理中，不致损及基材之部。本发明系在载台10之内部设置冷媒室41作为吸热机构，其中填充水等冷媒。并使晶圆90接触支撑于该载台10之支撑面10a上。以加热器20将该晶圆90之外周部加热，并自反应性气体喷出口30b供给除去不需要之膜用之反应性气体至该加热之部位。另外，对于比晶圆90之外周部更靠近内侧之部分则以上述吸热机构予以吸热。