基板保持装置、曝光装置、以及元件制造方法

摘要

为提供一种基板保持装置，可将渗入基板背面侧之液体迅速地回收。基板保持装置具备：基材；第1支持部，于基材上形成，用以支持基板背面；第1周壁部，于基材上形成，与基板背面相对向，以围绕第1支持部的方式设置；以及第1回收口，设置于第1周壁部之外侧；藉由沿着第1周壁部之气体的流动，以将第1周壁部外侧之液体移动至第1回收口并加以回收。