在高压下以一超临界或近临界处理介质将基材片逐次或批次处理之设备

摘要

在高压下以超临界或近临界状态处理介质逐次或批次处理基材片的设备，其包括一第一压力腔；一用于在高压下供应该处理介质至该压力腔及从该压力腔中排出该处理介质的管路系统；及一电动机，其固定于第一压力腔中或一在高压下与该第一压力腔相连的第二压力腔中的壳体上，用于驱动在处理介质中施加机械作用的致动器。该电动机在此例中系暴露在处理介质中，且被配置并设计成可以接触处理介质，该接触方式系在基材的处理过程中，该处理介质流经且围绕该电动机。