有机电激发光显示器的制造方法

摘要

本发明揭露一以低温多晶矽薄膜电晶体作为驱动单元之有机电激发光显示器的制造方法。有机电激发光显示器的制造方法包含提供一基板，且形成一低温多晶矽薄膜电晶体于该基板，该低温多晶矽薄膜电晶体包含一通道区、一源极及一汲极，以及形成一有机发光二极体(OLED)于该基板，该有机发光二极体具有一阳极与该汲极偶接。其中，该通道区的制造方式系包括：形成一多晶矽层，该多晶矽层具有一通道预定区；以及对该通道预定区进行一离子布植制程。