于离子植入系统中用于选择性预散射抽取离子束之方法及装置

摘要

提供离子植入系统，包括一个位于离子源和质量分析器之间的散射系统，其操作以从离子源选择性传送抽取的离子束到质量分析器，或是导引散射的离子束到质量分析器，其中散射的离子束具有比抽取的离子束较少非期望质量范围的离子。