依雷射剥蚀之材料的加工方法及依该加工方法所加工的材料

摘要

本发明之依雷射剥蚀之材料的加工方法，其为了容易控制雷射脉冲宽度且有效率的实行高精度之加工，其特征为，于雷射脉冲宽度与剥蚀临界值之关系中，在两对数图形之横轴以微微(10^–12)秒为单位来作为雷射脉冲宽度，而在纵轴以J／cm^2为单位来作为剥蚀临界值而表示时，两对数图形，系对具有形成为斜度0.5以下之直线状区域的材料，藉由区域内之雷射脉冲宽度的脉冲雷射束来加工者。