曝光装置、曝光装置的制造方法以及微元件的制造方法

摘要

一种曝光装置，具有多个架台部，搭载着光罩载台及／或基板载台等，透过投影光学系统(PL)把光罩(M)上所形成的图案曝光至感光性基板(P)，具备：搭载着支撑光罩(M)的光罩载台(MST)及投影光学系统(PL)的至少之一方的上架台部(26)、以及设成可自上架台部(26)分离，并在所定方向上具有长方向，且支撑着上架台部(26)的多个下架台部(6a)。