电子释放元件及电子释放元件之制造方法、以及光电装置、电子机器

摘要

本发明系提供一电子释放特性之偏差小且容易制造之电子释放元件及其制造方法光电装置、及具备电子释出元件之电子机器。本发明系于元件基板11上，使用液滴喷出法将导电性功能液30配置成图案，并藉由烘乾而形成导电膜12。再者，于导电膜12上以相同程序将光阻膜33形成图案，并将光阻膜33作为遮罩，蚀刻除去导电膜12之外缘部12a。