| 摘要 |
本发明的目的系提供一种电子射线装置，其系将评估区域分割成复数个副视野，并将1次电子射线依序照射于副视野，且依各个副视野，利用检测手段将包含试料面之资讯的2次电子进行检测，从而得到评估区域的资讯之电子射线装置，其系即使使用图框数／sec小的区域感测器亦可得到高速的画像者。为此，电子射线装置之检测手段26系具备有复数个单元检测器24–1，其系由下述构件所构成：区域感测器CCD1至CCD14；其一端结合于区域感测器之检测面之光纤束25；以及形成有涂布在光纤束之另一端、且用以成像副视野的2次电子射线之闪烁体的FOP。藉由电磁偏向器，每当照射电子射线之副视野移动时，使来自该副视野之2次电子射线偏向，并使之移动于单元检测器之FOP面上。由于自各单元检测器，可于其他之单元检测器的曝光中可取出画像资讯，故可取得高速画像。 |
