透光物品的检查方法

摘要

本发明提供一种可正确检查透光性物品之内部有无光 学不均一性之透光性物品之检查方法。用于光刻，而在透光材料所形成之透光性物品(4)之内部，对曝光之光检查有无局部区域或局部地光学特性变化之不均一性(具体而言，即内部瑕疵16)的检查方法中，系在前述透光性物品中导入具有200nm以下波长之检查光，藉由感测前述检查光在该透光性物品内部传播之光程中，局部区域或局部地发出之比前述检查光之波长更长的光(15)，而检查前述透光性物品中有无光学不均一性。