投影光学系统、曝光装置、曝光系统及曝光方法

摘要

为提供一种投影光学系统，可高精度且容易进行图案之重叠曝光。其解决手段在于，用来将第1面M之像形成于第2面P上之投影光学系统PL，至少具备1个第1楔形棱镜4，在入射面及出射面具有平面、且该入射面之平面与该出射面之平面具有既定之第1楔角；在以该第1面M的法线方向为Z轴方向、以该入射面的平面与该出射面的平面之交线方向为X轴方向、并以正交于该Z轴方向及X轴方向之方向为Y轴方向时，该第1楔形棱镜4能以大致该Y轴方向为轴而旋转。