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发明名称
纵型场效电晶体
摘要
本发明之MOSFET(金属-氧化物-半导体场效电晶体),系在由设于一半导体基板中之一渠沟闸所环绕之晶胞中具有一基极层与一源极层。一渠沟式接触窗形成穿透该源极层与该基极层。该渠沟式接触窗薄且为线状,以便增加嵌入特性。且该渠沟式接触窗为环形或形,以减少源极之长度。
申请公布号
TW200636994
申请公布日期
2006.10.16
申请号
TW094125791
申请日期
2005.07.29
申请人
NEC电子股份有限公司
发明人
山本英雄;小林研也
分类号
H01L29/772;H01L29/78
主分类号
H01L29/772
代理机构
代理人
周良谋;周良吉
主权项
地址
日本
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