SUBSTRATE SEPARATION DEVICE,申请号KR20050029781-传众专利搜索

发明名称	SUBSTRATE SEPARATION DEVICE
摘要
申请公布号	KR20060107602(A)	申请公布日期	2006.10.16
申请号	KR20050029781	申请日期	2005.04.11
申请人	JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.	发明人	KO, BU JIN
分类号	H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
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