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经营范围
发明名称
CLEANING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
KR20060107654(A)
申请公布日期
2006.10.16
申请号
KR20050029884
申请日期
2005.04.11
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
LEE, SIN YOUL
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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