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发明名称 Substrate Washing Apparatus and Washing Method
摘要
申请公布号 KR100634252(B1) 申请公布日期 2006.10.16
申请号 KR20010056639 申请日期 2001.09.14
申请人 发明人
分类号 B08B3/12;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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