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发明名称 CAPACITANCE DETECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100632824(B1) 申请公布日期 2006.10.16
申请号 KR20040026331 申请日期 2004.04.16
申请人 发明人
分类号 G01B7/28;G01R27/26;G06K9/00;G06T1/00;H01L21/336;H01L27/146;H01L29/786 主分类号 G01B7/28
代理机构 代理人
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