MOCVD DEVICE AND METHOD FOR FORMING FERROELECTRIC CAPACITOR AND FRAM USING THE SAME,申请号KR20040056482-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MOCVD DEVICE AND METHOD FOR FORMING FERROELECTRIC CAPACITOR AND FRAM USING THE SAME
摘要
申请公布号	KR100634386(B1)	申请公布日期	2006.10.16
申请号	KR20040056482	申请日期	2004.07.20
申请人		发明人
分类号	H01L21/205;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;H01L27/105	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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