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经营范围
发明名称
CLEANING APPARATUS FOR WAFER TRANSPORT ARM CHUCK
摘要
申请公布号
KR100634170(B1)
申请公布日期
2006.10.16
申请号
KR20040018969
申请日期
2004.03.19
申请人
发明人
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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