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发明名称 ZUSAMMENGESETZTES ZERSTÄUBUNGS-TARGET UND PHOSPHOR-ABSCHEIDUNGSMETHODE
摘要
申请公布号 AT340277(T) 申请公布日期 2006.10.15
申请号 AT20030767324T 申请日期 2003.12.04
申请人 IFIRE TECHNOLOGY CORP. 发明人 KOSYACHKOV, ALEXANDER
分类号 C09K11/77;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/34;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/00;H05B33/14;C09K11/80;C09K11/84 主分类号 C09K11/77
代理机构 代理人
主权项
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