PROCESS FOR PRODUCING SOI SUBSTRATE AND PROCESS FOR REGENERATION OF LAYER TRANSFERRED WAFER IN THE PRODUCTION,申请号KR20060031716-传众专利搜索

发明名称	PROCESS FOR PRODUCING SOI SUBSTRATE AND PROCESS FOR REGENERATION OF LAYER TRANSFERRED WAFER IN THE PRODUCTION
摘要
申请公布号	KR20060107388(A)	申请公布日期	2006.10.13
申请号	KR20060031716	申请日期	2006.04.07
申请人	SUMCO CORPORATION	发明人	ENDO AKIHIKO;ONO TOSHIAKI;SUGIMURA WATARU
分类号	H01L21/20;H01L27/12	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
主权项
地址