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发明名称 APPARATUS FOR INSPECTION DEFECTS ON SUBSTRATE AND METHOD FOR INSPECTING SUBSTRATE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060107064(A) 申请公布日期 2006.10.13
申请号 KR20050029048 申请日期 2005.04.07
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 CHO, JUNG KEUN;PARK, MIN JOO
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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