| 发明名称 |
DISPOSITIF DE CALIBRATION SUR SUBSTRAT EN SILICIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2872275(B1) |
申请公布日期 |
2006.10.13 |
| 申请号 |
FR20040006912 |
申请日期 |
2004.06.24 |
| 申请人 |
SILIOS TECHNOLOGIES SOCIETE ANONYME |
发明人 |
TISSERAND STEPHANE;ROUX LAURENT;JACOB SOPHIE |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N27/00;H01J37/20;H01L21/306;H01L21/66;H01L23/544 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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