| 发明名称 |
NOVEL SULFONATE SALTS AND DERIVATIVES, PHOTOACID GENERATORS, RESIST COMPOSITIONS, AND PATTERNING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060107340(A) |
申请公布日期 |
2006.10.13 |
| 申请号 |
KR20060030950 |
申请日期 |
2006.04.05 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. |
发明人 |
OHSAWA YOUICHI;WATANABE TAKERU;KINSHO TAKESHI;KOBAYASHI KATSUHIRO |
| 分类号 |
C07C323/22;C07C309/12;C07C323/10;G03F7/039 |
主分类号 |
C07C323/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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