PROCESSING CHAMBER AND PROCESSING APPARATUS,申请号KR20060009413-传众专利搜索

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发明名称	PROCESSING CHAMBER AND PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR20060106636(A)	申请公布日期	2006.10.12
申请号	KR20060009413	申请日期	2006.01.31
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	AMANO KENJI
分类号	H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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