发明名称 TESTING DEVICE AND TESTING METHOD OF A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060106591(A) 申请公布日期 2006.10.12
申请号 KR20050084516 申请日期 2005.09.12
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 TASHIRO KAZUHIRO;ITOU YASUYUKI;MARUYAMA SHIGEYUKI;ARISAKA YOSHIKAZU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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