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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF HOUSING FOR WAFER CASSETTE
摘要
申请公布号 KR20060106511(A) 申请公布日期 2006.10.12
申请号 KR20050029712 申请日期 2005.04.09
申请人 SANGA FROM TECH. CO., LTD. 发明人 LEE, KANG SUNG;LIM, YI TEAK
分类号 H01L21/02;H01L21/68 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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