发明名称 Halbleitersensorbauteil mit geschützten Zuleitungen und Verfahren zur Herstellung desselben
摘要 Die Erfindung betrifft ein Halbleitersensorbauteil (1) mit geschützten Zuleitungen (4) und ein Verfahren zur Herstellung desselben. Das Halbleiterbauteil (1) weist einen Sensorchip (5) mit einer Sensorfläche (6) auf. Der Sensorchip (5) ist in einem zweiteiligen Gehäuse (8) angeordnet, das den Sensorchip in einem Gehäuseunterteil (10) aufnimmt. Zwischen dem Gehäuseunterteil (10) und einem Gehäuseoberteil (9) ist eine Dichtung (12) angeordnet, welche die Sensorfläche umgibt, wobei die Dichtung (12) sich auch über die Zuleitungen (4) erstreckt. Dazu sind die Zuleitungen (4) als flache gedruckte metallhaltige pastierte Leiterbahnen (13) ausgebildet, die auf dem Gehäuseunterteil (10), dem Sensorchip (5) und auf einem Übergangsbereich (14) aus unterschiedlichen Materialien haften.
申请公布号 DE102005002814(B3) 申请公布日期 2006.10.12
申请号 DE20051002814 申请日期 2005.01.20
申请人 SIEMENS AG 发明人 BEER, GOTTFRIED
分类号 H01L23/50;B01L3/00;B81B1/00;B81C1/00;G01N33/483;G06K19/077;H01L23/28;H01L23/498 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
地址