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发明名称 VOLATILE NICKEL AMINOALKOXIDE COMPLEX AND DEPOSITION OF NICKEL THIN FILM USING SAME
摘要
申请公布号 CA2603749(A1) 申请公布日期 2006.10.12
申请号 CA20052603749 申请日期 2005.04.07
申请人 KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY 发明人 KIM, YUNSOO;SUNG, KIWHAN;LEE, SUN-SOOK;KIM, CHANG-GYOUN;AN, KI-SEOK;LEE, YOUNG-KUK;CHUNG, TAEK-MO;YOO, SEUNG-HO
分类号 C07F15/04 主分类号 C07F15/04
代理机构 代理人
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