MICROMECHANICAL COMPONENT, METHOD FOR FABRICATION AND USE

摘要

Es wird ein in einem integrierten Dünnschichtverfahren herstellbares mikromechanisches Bauelement vorgeschlagen, welches auf der Oberfläche eines Substrats als Mehrschichtaufbau erzeugt und strukturiert werden kann. Für den Mehrschichtaufbau werden zumindest zwei Metallschichten vorgesehen, die vom Substrat und gegeneinander durch Zwischenschichten getrennt sind. Elektrisch leitende Verbindungsstrukturen sorgen für einen elektrischen Kontakt der Metallschichten untereinander und mit einer im Substrat angeordneten Schaltungsanordnung. Die für einen Trägheitssensor, ein Mikrofon oder einen elektrostatischen Schalter einsetzbare freischwingende Membran kann zur Verbesserung ihrer mechanischen Eigenschaften auf allen Oberflächen mit Anpass- und Passivierungsschichten versehen werden, die beim Schichterzeugungsprozess beziehungsweise beim Aufbau des Mehrschichtaufbaus mit abgeschieden und strukturiert werden. Vorteilhaft werden dafür Titannitrid-Schichten eingesetzt.