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Die Erfindung betrifft einen Kollektorspiegel für kurzwellige Strahlungsquellen auf Basis eines Plasmas. DOLLAR A Die Aufgabe, eine neue Möglichkeit zum Temperieren eines Kollektorspiegels (1; 5) für die Fokussierung von aus einem Plasma (2) erzeugter kurzwelliger Strahlung zu finden, die die Herstellung einer leistungsfähigen thermischen Verbindung der optisch aktiven Spiegeloberfläche (12) mit einem Thermostatsystem ohne Nachteile bei Raumbedarf oder hochpräziser Fertigung des Kollektorspiegels (1; 5) gestattet, wird erfindungsgemäß gelöst, indem der Kollektorspiegel (1; 5) ein massives rotationssymmetrisches Substrat (11; 51) aufweist, das aus einem Material hoher thermischer Leitfähigkeit von mehr als 50 W/m K besteht und in das direkt Kanäle (13; 53) zur Kühlung und Temperierung eingearbeitet sind, die zur unmittelbaren Durchströmung mit einem Wärmetransportmedium (4) und zum schnellen definierten Temperieren der optisch aktiven Spiegeloberfläche (12) vorgesehen sind, wobei Wärme von transienten Temperaturspitzen, die im gepulsten Regime der Plasmaerzeugung an der Spiegeloberfläche (12) auftreten und kurzzeitig den Temperaturmittelwert um ein Vielfaches überschreiten, schneller abgeleitet wird.
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