发明名称 Verfahren zur Herstellung Feldeffektanordnungen und Kapzitäten mit Dünnschichtdielektrisch und so hergestellte Anordnungen
摘要
申请公布号 DE60030386(D1) 申请公布日期 2006.10.12
申请号 DE20006030386 申请日期 2000.10.30
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC. 发明人 ALERS, GLENN B.
分类号 H01L21/02;H01L27/04;H01L21/283;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/334;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/06;H01L27/108;H01L29/78 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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