| 发明名称 |
MIKROELEKTROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VENTILVORRICHTUNG MIT FLEXIBLER MEMBRANE UND DEREN HERSTELLUNGSVERFAHREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60122749(D1) |
申请公布日期 |
2006.10.12 |
| 申请号 |
DE20016022749 |
申请日期 |
2001.09.14 |
| 申请人 |
MCNC |
发明人 |
GOODWIN-JOHANSSON, H.;MCGUIRE, E. |
| 分类号 |
B81B3/00;B81B7/04;B81C1/00;F15C5/00;F16J3/02;F16K15/16;F16K31/02;F16K99/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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