| 主权项 |
1.一种测量讯号时间间隔的工作周期方法,包括以下步骤:a)提供作为讯号时间间隔重复的一个输入讯号;b)在相对于一重复的时间间隔之起始点所控制的时间中,将该输入讯号値与一个门限値进行多个比较,进行该多个比较包括改变该控制时间;以及c)基于一比较値在相对于该门限値的一预定范围内的比较的数量计算工作周期。2.如申请专利范围第1项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该讯号是数位时脉并且该时间间隔是该时脉周期的正整数倍数。3.如申请专利范围第1项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该讯号是差分讯号。4.如申请专利范围第3项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该输入讯号是具有两个分支的差分讯号并且将该输入讯号的値与门限値进行的比较包括比较该分支与该门限之间的电压差。5.如申请专利范围第4项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该门限値代表该两条分枝具有相同电压时的値。6.如申请专利范围第1项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该方法是利用自动测试设备执行的,以制造多个比较并改变控制时间。7.如申请专利范围第6项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中进行多个比较还包括对具有相对于该门限値的该预定范围的一比较値的比较数量进行计数。8.如申请专利范围第6项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该讯号是由连接到该自动测试设备的被测半导体设备生成的。9.如申请专利范围第7项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中进行多个比较包括使用具有选通脉冲输入的比较器。10.如申请专利范围第9项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该自动测试设备包括可编辑时序讯号发生器,该时序讯号发生器提供耦合到该比较器的选通脉冲输入的时序讯号,并且该改变控制时间包括改变该时序讯号发生器的编辑,从而改变在该选通脉冲输入的该时序讯号到该比较器的时间。11.如申请专利范围第7项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中进行多个比较包括多次运行测试模式,并且改变控制时间包括改变两次运行测试模式之间的控制时间。12.如申请专利范围第11项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该模式控制该测试仪进行X个采样并且该模式被重复Y次。13.如申请专利范围第12项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该工作周期是通过用X与Y的乘积除计数的比较次数计算出来的。14.如申请专利范围第7项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该自动测试设备在制造半导体设备的过程中被用于测量制造中的半导体设备产生的讯号的工作周期,并且该计算出的工作周期被用来改变制造半导体设备的过程。15.如申请专利范围第14项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中制造半导体设备的过程通过选择工作周期在一预定范围之内的半导体设备而被改变,以便进入下一步的过程。16.如申请专利范围第14项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该制造半导体设备的过程被速度分级半导体设备基于该设备的工作周期改变。17.如申请专利范围第14项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该制造半导体设备的过程通过基于多个制造中的半导体设备生成的讯号的测得工作周期的统计属性调节制造设备的参数而被改变。18.如申请专利范围第1项所述的测量讯号时间间隔的工作周期方法,其中该控制时间受到控制,使多个比较是在相对于一重复的时间间隔之起始点的时间、并且是均匀地分布在该时间间隔期间。19.一种测量讯号工作周期的方法,该方法利用能够被编辑为运行测试模式的自动测试设备进行的,该自动测试设备具有:i)时序讯号发生器,在可编辑时间生成选通脉冲讯号;ii)比较器,可被编辑为在来自该时序讯号发生器发出的选通讯号控制的时间将其输入的値与预期値进行比较;和iii)失败处理电路,耦合到该比较器的输出,并且被控制为对指示在模式期间比较器输入的値偏离预期値的比较的数量进行计数,该方法包括以下步骤:a)提供该讯号作为该比较器的输入;b)使用被编辑为产生对该讯号的第一时间关系的选通脉冲讯号的时序讯号发生器运行一模式,该模式将比较器的预期値编辑为指示讯号处理第一逻辑状态的讯号;c)在该模式的末端,记录失败处理电路对指示比较器的输入的値偏离预期値的比较的计数;d)重复地改变时序讯号发生器的编辑,从而产生对讯号具有不同时间关系的选通脉冲讯号,重新运行该模式并记录失败处理电路完成的对指示出比较器输入的値偏离预期値的比较的计数;以及e)由失败处理电路产生的指示比较器输入的値偏离预期値的比较的总数计算讯号的工作周期。20.如申请专利范围第19项所述的测量讯号工作周期的方法,其中改变时序讯号发生器的编辑包括增加该讯号的周期中的一小段选通脉冲讯号的编辑时间。21.如申请专利范围第19项所述的测量讯号工作周期的方法,其中的选通讯号具有对该讯号的时间关系,该讯号致使比较器在讯号的每个周期产生对讯号进行多倍比较。22.一种自动测试设备,被编辑为用来测试输入讯号的工作周期,其包括:i)时序讯号发生器,在可编辑时间生成选通脉冲讯号;ii)比较器,其具有:耦合到该输入讯号的讯号输入、耦合到该时序讯号发生器的选通脉冲输入、门限输入和数位输出,其具有取决于该讯号输入的相对电位和该门限输入;iii)失败处理电路,耦合到比较器的输出,该失败处理电路可被控制为对比较器的指示比较器输入的値偏离可编辑的预期値的数位输出的数量进行计数;和iv)软体程式,被编辑为控制该自动测试系统以使其执行一个方法,该软体程式包括:a)运行一个模式,时序讯号发生器被编辑为产生选通脉冲讯号,对该讯号具有第一时间关系,该模式将比较器的预期値编辑为指示该讯号处于第一逻辑状态的讯号;b)重复地改变定进讯号发生器的编辑,从而产生与该输入讯号具有不同时间关系的选通脉冲并重新运行该模式;以及c)由失败处理电路计数一个或多个値计算讯号的工作周期,该一个或多个値指示在模式的所有重复的期间的总比较数量,该模式的所有重复期间指示比较器输入的値偏离该可编辑预期値。23.如申请专利范围第22项所述的自动测试设备,其中该比较器是差分比较器。24.如申请专利范围第22项所述的自动测试设备,还包括通用数位电脑和在该通用数位电脑上运行的软体。图式简单说明:图1是自动测试系统中测量工作周期的有用部分的示意图。图2A、2B和2C是有助于理解测量工作周期的方法的示意图。图3是有助于理解测量工作周期的方法的流程图。 |
