| 主权项 |
1.一种高密度光碟片制作方法,包括下列步骤:a)提供一基板;b)于该基板上涂布一光阻剂;c)使用选自雷射光、电子束、离子束、探针尖端,及已通入雷射光之光纤探针所组成族群中之一种光源于该光阻剂上刻画出图案;d)将该光阻剂显影,使具有图案之光阻剂残留在该基板上;e)对该基板进行乾蚀刻,使该基板对应该图案处系产生凸面;f)将该基板上之光阻剂完全去除;g)将该基板置于一夹具上;h)将一紫外光固化胶平均涂布且覆盖该凹槽;i)以紫外光照射该紫外光固化胶使其固化;j)将一底板贴合于该紫外光固化胶,并使该紫外光固化胶与该凹槽分离;k)于该紫外光固化胶上镀上一金属层;以及l)于该金属层上涂布一保护层。2.如申请专利范围第1项所述之高密度光碟片制作方法,其中该基板系由玻璃材料所制成。3.如申请专利范围第1项所述之高密度光碟片制作方法,其中该基板系由导电材料所制成。4.如申请专利范围第1项所述之高密度光碟片制作方法,其中该导电材料系选择为金属材料及矽晶圆材料中之一种。5.如申请专利范围第1项所述之高密度光碟片制作方法,其中该光阻剂系为负光阻剂。6.如申请专利范围第1项所述之高密度光碟片制作方法,其中该乾蚀刻系选择为电感耦合式电浆蚀刻及反应性离子蚀刻中之一种。7.如申请专利范围第1项所述之高密度光碟片制作方法,其中于步骤h)中,该紫外光固化胶系以旋转涂布方式涂布于该基板上。8.如申请专利范围第1项所述之高密度光碟片制作方法,其中于步骤h)中,该紫外光固化胶系以分段滴下方式涂布于该基板上。9.如申请专利范围第1项所述之高密度光碟片制作方法,其中该底板系为透明。10.如申请专利范围第1项所述之高密度光碟片制作方法,其中该底板系由PC树脂所制成。11.如申请专利范围第1项所述之高密度光碟片制作方法,其中于步骤k)中,该金属层系以溅镀方式镀上。图式简单说明:图一系为本发明高密度光碟片制作方法之流程示意图;图二系为本发明高密度光碟片制作方法之流程示意图;图三系为本发明高密度光碟片制作方法之流程示意图;图四系为本发明高密度光碟片制作方法之流程示意图;图五系为本发明高密度光碟片制作方法之流程示意图;图六系为本发明高密度光碟片制作方法之流程示意图;图七系为本发明高密度光碟片制作方法之流程示意图;图八系为本发明高密度光碟片制作方法之流程示意图;图九系为本发明高密度光碟片制作方法之流程示意图;图十系为本发明高密度光碟片制作方法之流程示意图;图十一系为本发明高密度光碟片制作方法之流程示意图;以及图十二系为本发明高密度光碟片制作方法之流程示意图。 |
