| 主权项 |
1.一种正型感光性树脂组成物,其为含有硷可溶性 树脂、1,2-二叠氮(1,2-quinone-diazido)化合物、含2 个以上环氧基的交联性化合物、界面活性剂之组 成物,其特征为,该硷可溶性树脂是含羧基丙烯酸 酯单体、含羟基丙烯酸酯单体、N-取代马来醯亚 胺为必要成分的共聚合物,其中硷可溶性树脂成分 以重量份100计算,1,2-二叠氮(1,2-quinone-diazido)占5~ 100重量份,含2个以上环氧基的交联性化合物占1~50 重量份,界面活性剂占0.01~2重量份。 2.如申请专利范围第1项所述之正型感光性树脂组 成物,其中该共聚合物的数量平均分子量为2,000~9, 000。 3.如申请专利范围第1项所述之正型感光性树脂组 成物,其中上述共聚合物系含羧基丙烯酸酯单体占 5~30 mol%、含羟基丙烯酸酯单体占5~50mol%、N-取代马 来醯亚胺占10~70 mol%。 4.如申请专利范围第1项所述之正型感光性树脂组 成物,其中前述界面活性剂是氟系界面活性剂。 5.一种正型感光性树脂组成物的图型之形成方法, 其特征系将使用如申请专利范围第1至第4项中任 一项之正型感光性树脂组成物所得到的涂膜,以(i) 170℃至250℃的温度、或(ii)第1阶段以120℃至160℃ 之温度,而第2阶段以170℃至250℃之温度进行烧培 。 图式简单说明: 第1图 为在实施例1的截面图的半圆形图型的扫描 式电子显微镜照片。 第2图 为在实施例2的截面图的梯形图型的扫描式 电子显微镜照片。 |
