| 主权项 |
1.一种紫外线感测器,包含: 基底; 位于基底上用作侦测器的钻石层;以及 至少一对排列在钻石层上的表面电极, 其中,该钻石层的表面处具有侦测区,该侦测器具 有至少一个从表面电极曝露的子区,且该子区具有 位于其上的由氧化物或氟化物组成的覆盖层。 2.如申请专利范围第1项的紫外线感测器,其中,氧 化物是选自氧化铝、二氧化矽、二氧化钛、氧化 锆组成的族群中的至少之一。 3.如申请专利范围第1项的紫外线感测器,其中,氟 化物是氟化钙和氟化镁中的至少之一。 4.如申请专利范围第1项的紫外线感测器,其中,钻 石层是多晶的。 5.如申请专利范围第1项的紫外线感测器,其中,钻 石层具有(100)表面以及排列在(100)表面处的晶粒, 这些晶粒沿单一方向配向,且其共平面方向彼此对 准。 6.一种制造如申请专利范围第1项的紫外线感测器 的方法,包含下列步骤: 在基底上形成用作侦测器的钻石层; 在钻石层上形成至少一对表面电极;以及 在存在于钻石层表面处的侦测区的至少一个子区 上,形成由氧化物或氟化物组成的覆盖层,该子区 被从表面电极曝露, 其中,用溅射法、汽相沈积法、雷射烧蚀法、或化 学气相沈积法,来形成覆盖层。 7.一种制造如申请专利范围第1项的紫外线感测器 的方法,包含下列步骤: 在基底上形成用作侦测器的钻石层; 在钻石层上形成至少一对表面电极;以及 在存在于钻石层表面处的侦测区的至少一个子区 上,形成由氧化物或氟化物组成的覆盖层,该子区 被从表面电极曝露, 其中,用汽相生长法来形成钻石层。 图式简单说明: 图1是平面图,示出了根据本发明实施例的紫外线 感测器; 图2是示意侧视图,示出了紫外线感测器; 图3是示意图,示出了用来评估根据本发明的紫外 线感测器的系统; 图4示出了实施例的紫外线感测器的响应变化以及 比较实施例的紫外线感测器的响应变化,其中,水 平轴表示照射时间,垂直轴表示输出; 图5是示意剖面图,示出了具有平板结构的熟知紫 外线感测器;及 图6是示意剖面图,示出了熟知的垂直紫外线感测 器。 |
