一种双轴电容式微机械加速度计

摘要

双轴电容式微机械加速度计包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡，结构为中心对称图形，通过一个质量块敏感两个正交方向的加速度。质量块居于结构的中心，质量块外围是弹性支撑、止挡、驱动电极和检测电极。设计的弹性支撑较好地实现了两个正交方向的解耦，使两个方向的灵敏度、分辨率都较高。弹性支撑是以正方形的四个角为锚点，其结构稳定性好。以梳齿电容的形式实现差动的静电驱动、电容检测，提高了加速度计的灵敏度和分辨率。此结构易于实现高精度的二维加速度测量。

主权项

1、双轴电容式微机械加速度计，其特点在于：包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极和齿枢，整个结构为中心对称图形，通过一个质量块敏感两个正交方向的加速度；质量块居于结构的中心，质量块外围是弹性支撑、驱动电极和检测电极，弹性支撑由四个双端固支梁和四个悬臂梁构成，四个双端固支梁构成的正方形的四个角是锚点，每个悬臂梁的一端与质量块固连，另一端与其对应的双端固支梁中间固连；驱动电极和检测电极以梳齿偏置结构构成差动电容，电容的活动极板与质量块连接，电容的固定极板与齿枢连接。