一种双轴谐振式微机械加速度计

摘要

双轴谐振式微机械加速度计包括基片、质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、音叉、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为中心对称图形，通过一个质量块敏感两个正交方向的加速度，质量块呈“回”字型，质量块中间是悬臂梁、杠杆放大机构、音叉、齿枢和驱动电极、检测电极，质量块外围是止挡。发明中的“回”字型的质量块设计能够使元件有限体积下实现较大的质量块；8根悬臂梁组成的弹性支撑实现了两个正交方向的解耦，使两个方向的灵敏度、分辨率都较高；谐振梁采用双端固定音叉的形式，其两端通过细颈结构与外围固连；以对称布置的两个音叉实现谐振频率的差动输出。本发明的结构形式使微机械加速度计在两个正交方向均有较高的灵敏度、分辨率，易于实现高精度的二维加速度测量。

主权项

1.一种双轴谐振式微机械加速度计，其特征在于：包括基片、质量块、8个悬臂梁、4个杠杆放大机构、4个音叉和4组齿枢、驱动电极、检测电极，整个结构为中心对称图形，通过一个质量块敏感两个正交方向的加速度；质量块呈“回”字型，质量块中间是8个悬臂梁、4个杠杆放大机构、4个音叉和4组齿枢、驱动电极、检测电极，谐振梁采用双端固定音叉的形式，每个音叉的两端通过细颈结构分别与杠杆放大机构和锚点固连，音叉对称布置，音叉两侧对称布置有齿枢、驱动电极、检测电极。