| 发明名称 |
非极化的复合氮化镓基衬底及生产方法 |
| 摘要 |
本发明揭示非极化(non－polar)的复合氮化镓基衬底及生产方法。非极化的复合氮化镓基衬底的结构为：反射/欧姆/应力缓冲层层叠在支持衬底与非极化的氮化镓基外延层之间。生产非极化的复合氮化镓基衬底的主要工艺步骤如下：在生长衬底上，依次生长中间媒介层(或晶核层)和非极化的第一氮化镓基外延层；层叠掩膜层；蚀刻掩膜层形成氮化镓窗口和掩膜层条；生长非极化的第二氮化镓基外延层；层叠反射/欧姆/应力缓冲层；键合支持衬底；剥离生长衬底、中间媒介层(或晶核层)、非极化的第一氮化镓基外延层、掩膜层条、和非极化的第二氮化镓基外延层中带有空洞的部分，非极化的第二氮化镓基外延层中没有空洞的部分暴露，进行热处理。 |
| 申请公布号 |
CN1845349A |
申请公布日期 |
2006.10.11 |
| 申请号 |
CN200610067517.8 |
申请日期 |
2006.02.26 |
| 申请人 |
金芃;彭晖 |
发明人 |
彭晖 |
| 分类号 |
H01L33/00(2006.01);H01L21/18(2006.01);H01L21/20(2006.01) |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种非极化的复合氮化镓基衬底，包括，但不限于：(a)支持衬底；(b)非极化的氮化镓基外延层；所述的非极化氮化镓基外延层键合于所述的支持衬底上。 |
| 地址 |
100871北京市海淀区北京大学燕东园33楼112号 |
