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经营范围
发明名称
SPIN-ON-GLASS ANTI-REFLECTIVE COATINGS FOR PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
EP1478681(A4)
申请公布日期
2006.10.11
申请号
EP20010995897
申请日期
2001.11.16
申请人
HONEYWELL INTERNATIONAL, INC.
发明人
BALDWIN-HENDRICKS, T.;KENNEDY, JOE;RICHEY, MARY
分类号
C08G77/02;G03F7/11;C08G77/04;C08G77/18;C08G77/20;C09D183/02;C09D183/04;C09D183/06;C09D183/08;G03F7/09;H01L21/027
主分类号
C08G77/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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