X射线产生装置

摘要

本发明的X射线产生装置具有：一阴极电极(15)、一用以控制该阴极电极(15)所生电子束(e)的栅极电极(17)、一用以集束该电子束(e)的聚焦电极(18)、以及一藉由电子束(e)的撞击而放出X射线的阳极靶材(14)。在阴极电极(15)和栅极电极(17)之间，受施加有一来自偏压电压产生部(20)的偏压电压(Vb)。阳极靶材(14)受施加一来自管电压产生部(19)的管电压(Vt)。分压部(31)对管电压(Vt)进行分压，而产生聚焦电压(Vf)。藉由将如此而得的聚焦电压(Vf)施加至聚焦电极(18)上，将可以抑制电压变动对于电子束的焦点形成所造成的影响。

主权项

1.一种X射线产生装置，其特征在于，具有：产生电子束的阴极电极；控制所述阴极电极所产生的所述电子束的流动的栅极电极；将所述电子束集束的聚焦电极；通过由所述聚焦电极集束了的所述电子束的撞击而射出X射线的阳极靶材；产生向所述阴极电极及所述栅极电极间施加的偏压的偏压产生部；产生向所述阳极靶材施加的管电压的管电压产生部；将所述管电压分压而产生聚焦电压、将该聚焦电压施加于所述聚焦电极的同时、将所述聚焦电压进行分压而产生阴极电压的分压部，将所述分压部产生的所述阴极电压与所述偏压产生部产生的所述偏压进行合成，将该合成的电压施加于所述阴极电极。