发明名称 Method for manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100632657(B1) 申请公布日期 2006.10.11
申请号 KR20020039371 申请日期 2002.07.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/8247 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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