漏声表面波传感器

摘要

本发明公开了一种漏声表面波传感器，优选结构为单基片双路结构，即在一个基片上同时制作检测和参比两路延迟线。其中参比延迟线主要用于减低非特异性物质的吸附。允许漏声表面波在液体介质和气体中进行传播。传感器可用于生物医学或化学组分的检测。

主权项

1.一种漏声表面波传感器，适用于液相或气相中的生物或化学成分的检测，其特征包括：一层以压电材料构成的基底物；至少一对输出及输入叉指换能器位于压电基底物上，叉指换能器之间是检测反应区域；一层压电层位于基底物上；一层金膜位于压电层上；一层生物敏感层固定于金膜上。