光学拾取器以及用于校正光束像差的方法和装置

摘要

本发明公开了一种球面像差校正单元(9、11、13)，校正在朝向要被探测的物体(DK)照射并聚焦到物体上的光束(B)中造成的像差。校正单元包括像差校正器(9)、驱动器(12)、光接收器(11)和控制器(13)。由多个光学元件(9a、9b)构成的像差校正器将光束形成为平行射束，并校正光束中造成的像差。驱动器沿着光束的光轴方向驱动光学元件中任一个。光接收器接收从介质反射的光，以从接收到的光产生光接收信号，而控制器基于所产生的光接收信号控制驱动器。

主权项

1.一种球面像差校正单元，用于校正在朝向要被探测的物体(DK)辐射并聚焦到物体上的光束(B)中造成的像差，其特征在于，包括：像差校正器(9)，它由多个光学元件(9a、9b)构成，并构造成将光束形成为平行的射束，并且用于校正在光束中造成的像差，其中所述光学元件(9a、9b)分别为会聚透镜和发散透镜；驱动器(12)，其被构造成沿光束的光轴方向仅驱动光学元件中的一个；光接收器(11)，其被构造成接收从物体反射的光，以便由接收到的光产生光接收信号；以及控制器(13)，其构造成基于所产生的光接收信号控制驱动器。