发明名称
摘要
申请公布号 JP3833275(B2) 申请公布日期 2006.10.11
申请号 JP19940023414 申请日期 1994.01.24
申请人 发明人
分类号 C08F2/00;C23C14/12;C08F2/34;C08G85/00;H01L21/312 主分类号 C08F2/00
代理机构 代理人
主权项
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