发明名称 THE TROBLESHOOTING OF ELECTROLESS PLATING ON AL PAD OF SIO2 WAFER DOPED BORON
摘要
申请公布号 KR20060105213(A) 申请公布日期 2006.10.11
申请号 KR20050027685 申请日期 2005.04.01
申请人 INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION, YEUNGNAM UNIVERSITY 发明人 MIN, BONG KI;CHOI, SOON DON;AN, SU BONG;SIM, GI JONG
分类号 H01L21/60;H01L21/265 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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