| 发明名称 | 在有机发光装置制造中沉积有机层的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及在制造有机发光装置中对有机材料的沉积进行控制的方法，所述方法包括：在沉积区沉积有机材料以形成有机发光装置的层；设置可移动的传感器，当所述传感器移动到沉积区中并在沉积步骤中被覆盖时提供表示形成所述层的有机材料的沉积速率和厚度的信号。所述方法还包括：根据所述信号控制有机材料的沉积以控制形成所述层的有机材料的沉积速率和厚度；将可移动的传感器从沉积区移动到清洁位置；以及去除可移动的传感器上的有机材料以使可移动的传感器能够重复使用。 | ||
| 申请公布号 | CN1279208C | 申请公布日期 | 2006.10.11 |
| 申请号 | CN02118053.9 | 申请日期 | 2002.04.22 |
| 申请人 | 伊斯曼柯达公司 | 发明人 | M·A·马库斯;A·L·赫里钦;S·A·范斯利克 |
| 分类号 | C23C14/12(2006.01);C23C14/54(2006.01);H01L33/00(2006.01) | 主分类号 | C23C14/12(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 肖春京 |
| 主权项 | 1.一种用于将蒸发的或升华的有机层沉积在基体上以形成有机发光装置的一部分的方法，所述方法包括下列步骤：(a)在沉积区沉积有机材料以形成有机发光装置的层；(b)设置可移动的晶体物质量传感器，当所述晶体物质量传感器移动到沉积区中并在沉积步骤中被覆盖时会提供表示形成所述层的有机材料的厚度的信号；(c)根据所述信号控制有机材料的沉积以控制沉积速率和形成在结基体上的有机层的厚度；(d)将所述可移动的晶体物质量传感器从沉积区移动到清洁位置；以及(e)去除所述可移动的晶体物质量传感器上的有机材料以使可移动的晶体物质量传感器能够重复使用。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||