发明名称 | 一种电容式微机械加速度计 | ||
摘要 | 电容式微机械加速度计包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为轴对称图形,质量块处于结构的四周,呈“回”字型。质量块中间含有两部分:一部分是弹性支撑,由两组折叠梁构成;另一部分是驱动电极和检测电极,以梳齿偏置结构构成差动电容。本发明能够在元件有限体积下实现较大的质量块,使加速度高效转化为惯性力,设计的弹性支撑结构和梳齿偏置式的静电驱动、电容检测提高了加速度计的灵敏度、分辨率,易于实现高精度的测量。 | ||
申请公布号 | CN1844935A | 申请公布日期 | 2006.10.11 |
申请号 | CN200610011959.0 | 申请日期 | 2006.05.23 |
申请人 | 北京航空航天大学 | 发明人 | 樊尚春;任杰 |
分类号 | G01P15/125(2006.01) | 主分类号 | G01P15/125(2006.01) |
代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 刘秀娟;成金玉 |
主权项 | 1、一种电容式微机械加速度计,其特征在于:包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极和齿枢,整个结构为轴对称图形,质量块处于结构的四周,呈“回”字型;质量块中间是弹性支撑、齿枢、驱动电极、检测电极,弹性支撑由上下对称的两个折叠梁构成,每个折叠梁的一端通过锚点与基片连接,另一端与质量块固连;驱动电极和检测电极以梳齿偏置结构构成差动电容,电容的活动极板与质量块连接,电容的固定极板与齿枢连接。 | ||
地址 | 100083北京市海淀区学院路37号 |