基于介质层上电润湿的微液滴驱动器

摘要

本发明公开了属于微全分析系统和微机电系统范围的一种基于介质层上电润湿的微液滴驱动器。在单晶硅上有一层热氧化SiO₂下极板衬底，在衬底上为Ti/Pt双层下电极阵列，一层薄膜介质层覆盖在下电极阵列上面，碳氟聚合物薄膜厌水层覆盖在介质层上，带厌水层和ITO的上极板玻璃片由支撑物支撑在下电极阵列的上方。本微液滴驱动器具有液滴驱动电压低、制作工艺简易、成本低、可进一步将液体的其他操作集成在一个芯片上。

主权项

1.一种基于介质层上电润湿的微液滴驱动器，其特征在于：所述微液滴驱动器的结构是在硅衬底(1)上有一层热氧化SiO2(2)下极板衬底，在SiO2衬底上为Ti/Pt双层下电极阵列(3)，一层薄膜介质层(4)覆盖在下电极阵列(3)上面，碳氟聚合物薄膜厌水层(5)覆盖在介质层(4)上，带厌水层(5)和ITO层(6)的上极板玻璃片(7)由支撑物(8)支撑在下电极阵列(3)的上方，下电极阵列(3)与外部引线(9)连接。