介层窗偏移侦测装置

摘要

一种介层窗(via)偏移的侦测装置，借着芯片内金属层间的介层窗出现偏移时，本发明的介层窗偏移侦测装置内侦测电路中之介层窗亦会同时出现偏移，故透过适当布置侦测电路中介层窗的位置，在芯片内金属层间的介层窗出现偏移时，使得侦测电路中不同金属层的金属线透过已偏移的介层窗而发生短路，并产生较介层窗偏移前高的电压输出作为介层窗偏移侦测结果。因此可有效且准确侦测出芯片内各金属层间的介层。窗是否偏移及其偏移方向与程度，便可对制程作出相应的调整和优化处理，以提升制程良率，降低产品成本。

主权项

1.一种介层窗偏移侦测装置，是应用在具有多个金属层的一芯片中，其特征在于：该介层窗偏移侦测装置至少包括：一电源供应模组；一第一侦测电路，该第一侦测电路至少包括：这些金属层的一第一金属层，该第一金属层至少包括一第一金属线和一第二金属线，其中该第一金属线和该第二金属线之间的距离等于一第一距离值，而该第一金属线的一端和该第二金属线的一端均电性连接至该电源供应模组；这些金属层的一第二金属层的第三金属线，该第三金属线为至少包括三条的多条金属线，其中这些第三金属线的一第一个的一端电性连接一第一电阻器的一端，该第一电阻器的另一端电性连接至一接地端，这些第三金属线的一第二个的一端电性连接一第二电阻器的一端，该第二电阻器的另一端电性连接至该接地端，这些第三金属线的一第三个的一端电性连接一第三电阻器的一端，该第三电阻器的另一端电性连接至该接地端，且该第一金属层是位于该第二金属层上方，该第一金属线与该第二金属线是与这些第三金属线互为正交布置；一第一金属层隔离模组，该第一金属层隔离模组至少包括一第一输入端、一第二输入端、一第三输入端、一第一输出端、一第二输出端和一第三输出端，该第一金属层隔离模组的该第一输入端电性连接至这些第三金属线的该第一个的另一端，该第一金属层隔离模组的该第二输入端电性连接至这些第三金属线的该第二个的另一端，该第一金属层隔离模组的该第三输入端电性连接至这些第三金属线的该第三个的另一端；以及一第一介电层，该第一介电层位于该第一金属层和该第二金属层之间，并在对应于这些第三金属线的该第一个的该第一介电层中的一第一预定位置形成一第一介层窗，在对应于这些第三金属线的该第二个的该第一介电层中的一第二预定位置形成一第二介层窗，并在对应于这些第三金属线的该第三个的该第一介电层中的一第三预定位置形成一第三介层窗；一第二侦测电路，该第二侦测电路至少包括：所述金属层的第二金属层的第四金属线，该第四金属线为至少包括两条的多条金属线，其中这些第四金属线的一第一个的一端和这些第四金属线的一第二个的一端均电性连接至该电源供应模组，而这些第四金属线的该第一个和这些第四金属线的该第二个之间的距离等于一第二距离值；这些金属层的一第三金属层，该第三金属层至少包括一第五金属线、一第六金属线和一第七金属线，该第五金属线的一端电性连接一第四电阻器的一端，该第四电阻器的另一端电性连接至该接地端，该第六金属线的一端电性连接一第五电阻器的一端，该第五电阻器的另一端电性连接至该接地端，该第七金属线的一端电性连接一第六电阻器的一端，该第六电阻器的另一端电性连接至该接地端，且该第二金属层是位于该第三金属层上方，这些第四金属线是分别与该第五金属线、该第六金属线和该第七金属线互为正交布置；一第二金属层隔离模组，该第二金属层隔离模组至少包括一第四输入端、一第五输入端、一第六输入端、一第四输出端、一第五输出端和一第六输出端，该第二金属层隔离模组的该第四输入端电性连接至该第五金属线的另一端，该第二金属层隔离模组的该第五输入端电性连接至该第六金属线的另一端，该第二金属层隔离模组的该第六输入端电性连接至该第七金属线的另一端；以及一第二介电层，该第二介电层位于该第二金属层和该第三金属层之间，并在对应于该第五金属线的该第二介电层中的一第四预定位置形成一第四介层窗，在对应于该第六金属线的该第二介电层中的一第五预定位置形成一第五介层窗，并在对应于该第七金属线的该第二介电层中的一第六预定位置形成一第六介层窗；一暂存器，该暂存器具有多个暂存器输入端和一暂存器输出端，其中这些暂存器输入端的一第一暂存器输入端电性连接至该第一金属层隔离模组的该第一输出端和该第二金属层隔离模组的该第四输出端，这些暂存器输入端的一第二暂存器输入端电性连接至该第一金属层隔离模组的该第二输出端和该第二金属层隔离模组的该第五输出端，这些暂存器输入端的一第三暂存器输入端电性连一接至该第一金属层隔离模组的该第三输出端和该第二金属层隔离模组的该第六输出端，以接收该第一金属层隔离模组输出的多个信号和该第二金属层隔离模组输出的多个信号；以及一定址模组，该定址模组用以接收一地址信号，并根据该地址信号以启动该电源供应模组，以及启动该第一金属层隔离模组和该第二金属层隔离模组中的一者及关闭该第一金属层隔离模组和该第二金属层隔离模组中的另一者，以使该第一金属层隔离模组和该第二金属层隔离模组中的一个与这些暂存器输入端短路，以及使该第一金属层隔离模组和该第二金属层隔离模组中的该另一个与这些暂存器输入端断路。